英文
400-888-0829
离线式晶圆超声扫描检测系统
应用范围
6、8、12寸晶圆键合检测
设备优势
系统内无金属污染，配置微型环境（FFU）封装设计
满足扫描过程的Class2（100级）清洁度要求
支持高精扫描、快速扫描
可定制晶圆载具
可选配双探头
主要参数
外形尺寸
1200㎜(L)×1000㎜(W)×2000㎜(H)
探头配置
单探头
图像分辨率
1~4000μm
超声发射接收带宽
1-500MHz
扫描模式
高精扫描、快速扫描（隔行差值扫描）
三轴平台
大理石平台
XY轴
直线电机、龙门双驱
治具
晶圆专用载具
上下料
手动放置
洁净度
百级
沪公网安备 31011202013830号